1 測量設(shè)備
儀器校準用標準器為海德漢的光柵長度計,測量范圍為0~25mm,分辨力為0.1m,準確度為0.1m,選擇球形測頭,測量底座的平面度為0.0006 mm/180 mm。
2 儀器校準方法
將濕膜制備器放在光柵長度計檢測平臺上,調(diào)整光柵長度計,使其對準濕膜制備器基準面,并調(diào)整光柵長度計到零位,移動濕膜制備器,使光柵長度計測頭與濕膜制備器凹槽底部接觸,在測量位置1處重復測量5次,記錄測量結(jié)果并計算平均值。然后重復上述步驟,對2、3、4位置處進行測量、記錄測量結(jié)果并計算平均值,得到四組測量結(jié)果。四次示值的平均值作為該凹槽的實際深度值L,其深度值按式(1)計算,該濕膜制備器示值誤差按式(2)計算:
式中:L凹槽的實際深度值,m;
Li凹槽的示值,mi受檢凹槽的示值誤差,m;
L標受檢凹槽的標稱值,m