1、儀器校驗(yàn)準(zhǔn)備

      按照儀器開機(jī)穩(wěn)定或規(guī)定的其它要求，確保各項(xiàng)自檢正常，用儀器自帶或特定應(yīng)用的校正物質(zhì)校正儀器，環(huán)境條件滿足的要求。

2、檢測器噪聲

      放置純銅標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，測量質(zhì)量數(shù)為132或220的離子計(jì)數(shù)，測量3次，取其平均值。

3、分辨率

      放置純銅標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，掃描質(zhì)量數(shù)為Cu63的譜圖，分別讀取在中分辨模式和高分辨模式下的分辨率。

4、靈敏度

      放置純銅標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，測量質(zhì)量數(shù)為Cu63的離子計(jì)數(shù)，分別讀取在中分辨模式和高分辨模式下的信號(hào)強(qiáng)度。

5、檢出限

      放置純銅標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，所測量元素質(zhì)量分?jǐn)?shù)不大于10ng／g，在中、高分辨模式下，同一濺射點(diǎn)重復(fù)測量11次，用式(1)計(jì)算待測元素測量值的標(biāo)準(zhǔn)偏差s，3倍的標(biāo)準(zhǔn)偏差即為檢出限cL，按照式(2)計(jì)算。

式中：

s——11次測量值的標(biāo)準(zhǔn)偏差，%；

xi——第i次測量示值，%；

x——11次測量的平均值，%；

n——測量次數(shù)；

cL——檢出限，%。

6、示值誤差

      放置純銅標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，測量元素質(zhì)量分?jǐn)?shù)1～100μg／g，在中、高分辨模式下，同一濺射點(diǎn)分別重復(fù)測量3次，取平均值x，由式(3)計(jì)算示值誤差Δx。每次測量時(shí)不需要換點(diǎn)，但需重新濺射。

Δx=(xx-s)／xs×100%      (3)

式中：Δx——相對示值誤差，%；xs——元素標(biāo)準(zhǔn)值，%；x——3次測量的平均值，%。

7、重復(fù)性

      放置純銅標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，測量元素質(zhì)量分?jǐn)?shù)為1～100μg／g，在中、高分辨模式下，重復(fù)測量6次，由式(4)計(jì)算相對標(biāo)準(zhǔn)偏差sr，即為重復(fù)性。每次測量都改變樣品位置（即多次重新放置樣品），更換陽極帽、導(dǎo)流管等配件。

sr=s／x×100%      (4)

式中：

sr——相對標(biāo)準(zhǔn)偏差，%；

s——6次測量值的標(biāo)準(zhǔn)偏差，按式(1)計(jì)算，%；

x——6次測量的平均值，%。

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