儀器校準前，應對儀器的外觀、各部分相互作用進行檢查，確認沒有影響計量特性的因素后再進行校準。指示表應符合JJG34—2008的要求且經(jīng)檢定合格。

1 表面粗糙度

        平面波動量儀表面粗糙度用表面粗糙度比較樣塊進行比較測量，表面粗糙度測量時，應選擇最接近表面粗糙度值的樣塊標稱值作為測量結(jié)果，也可以用表面粗糙度測量儀進行測量。

2 相對位置尺寸

        平面波動量儀相對位置如圖1所示。測量時，按照三坐標測量及開機程序操作，根據(jù)被校準平面波動量儀的校準位置誤差要求，建立坐標系，編輯測量程序；然后按照自動測量模式測量平面波動量儀對應的3個圓形支撐面中心和指示表孔中心位置尺寸；通過測量軟件計算出測量尺寸。長度尺寸L按式（1）計算。

        L=L1-L0   （1）

        式中：

        L1——第二個位置（終點）讀數(shù)，mm；

        L0——第一個位置（起點）讀數(shù)，mm。

3 3個支撐面的整體平面度支撐面的平面度

        用刀口形直尺以光隙法測量，測量時在對角線位置上進行，順時針移動刀口形直尺，在不同方向的對角線測量。其平面度根據(jù)各方位的間隙情況確定。當所校準方位上出現(xiàn)的間隙均在中間部位或兩端部位時，取其中間隙最大的作為平面度。

4 儀器示值誤差

        用指示表、3等量塊和0級大理石平板對其進行校準，校準時，把平面波動量儀放在0級大理石平板上，在3個支撐面下墊1.10mm的量塊，然后在可動支撐面的下面放置1.10mm的量塊，調(diào)整使指示表對零，然后在可動支撐面的下面依次放入間隔20μm的量塊，即1.12mm、1.14mm、1.16mm、1.18mm、1.20mm量塊，并分別記錄每點的讀數(shù)，如圖所示。測量應在正、反行程進行，正行程測量后，再進行反向測量，以最大尺寸1.20mm的量塊對零，依次從大到小放置量塊反向測量，按式（2）計算各校準點的示值誤差。儀器示值誤差由校準點示值誤差中最大值和最小值之差確定。

        Δi=ai-（ΔLi-ΔL0）  （2）

        式中：

        ai——指示表的讀取示值，μm；

        ΔLi——校準點所用量塊實際尺寸，μm；

        ΔL0——對零位時所用量塊實際尺寸，μm。

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