0 引言
      體視顯微鏡，是一種具有正像立體感地顯微鏡，被廣泛地應(yīng)用于材料宏觀表面觀察、失效分析、斷口分析等工業(yè)領(lǐng)域。是一種具有正像立體感地目視儀器，被廣泛地應(yīng)用于生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、農(nóng)林、工業(yè)及海洋生物各部門。體視顯微鏡的外形圖如圖1所示。

 

      體視顯微鏡是通過光學(xué)系統(tǒng)將微小物體所成的像放大后，由雙目顯微鏡中兩組同樣的成像光路，獲得具有立體感覺的清晰圖像，用于觀察物體的表面形貌及組織結(jié)構(gòu)，并利用分劃板上的刻度尺測量物體視顯微鏡按結(jié)構(gòu)形式可分為連續(xù)變倍型、有級變換型、物鏡卸換型三種;按照技術(shù)性能可分為普及型與高性能兩種。體視顯微鏡是利用光學(xué)原理，把人眼所不能分辨的微小物體放大成像，以供人們提取微細結(jié)構(gòu)信息的光學(xué)儀器。倍率變化是由改變中間鏡組之間的距離而獲得的，物鏡放大倍率誤差是其非常關(guān)鍵的計量特性參數(shù)。本文旨在研究體視顯微鏡物鏡放大倍率誤差的儀器校驗方法，為體視顯微鏡使用單位提供計量技術(shù)的參考。
 
1 儀器校驗方案設(shè)計
      儀器校驗前，以目視方法檢查體視顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng)。光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)成像清晰，視場內(nèi)不應(yīng)有影響測量的霉斑、臟物、劃痕等疵病，照明裝置應(yīng)在視場范圍內(nèi)使被測對象得到均勻并有足夠亮度的照明。以手動方法檢查各部分相互作用，可運動部分的移動或轉(zhuǎn)動應(yīng)平穩(wěn)舒適，定位可靠，沒有滯澀或急跳現(xiàn)象。光學(xué)調(diào)焦機構(gòu)應(yīng)穩(wěn)定、可靠。固定在立柱上的調(diào)焦滑座不會由于本身以及附加裝置的質(zhì)量而自行下降。在確定無影響計量特性的因素后，再進行儀器校驗
 
1.1 物鏡放大倍率誤差
      將玻璃線紋尺(分度值為0.1mm或0.01mm，MPE:0.01mm)置于載物臺上，體視顯微鏡使用最高倍物鏡，在左側(cè)目鏡裝上十字分劃目鏡，通過調(diào)焦使玻璃線紋尺刻線在分劃目鏡的分劃尺上成清晰像，并調(diào)整兩者使玻璃線紋尺刻線像與分劃目鏡刻線方向平行。將玻璃線紋尺刻度間距像與目鏡分劃尺相比較，在左側(cè)目鏡分劃尺上讀取玻璃線紋尺所用刻度間距像的示值，按式(1)求得左側(cè)光路的物鏡放大倍率左i:
 
      對于右側(cè)光路同樣按照上述方法進行測量，可以求得右側(cè)光路的物鏡放大倍率右i與物鏡放大倍率誤差右i。調(diào)換其他倍率的物鏡，按照上述測量方法分別測量各個倍率物鏡的放大倍率誤差。對于有級變換型和物鏡卸換型的體視顯微鏡，應(yīng)對每個倍率的物鏡分別測量放大倍率誤差。對于連續(xù)變倍型體視顯微鏡，可對物鏡高、中、低三個倍率分別測量放大倍率誤差。從以上得到的各倍物鏡測量值中取最大的那一個測量值作為物鏡放大倍率誤差測量結(jié)果。
 
1.2 左右光學(xué)系統(tǒng)放大倍率差上節(jié)中物鏡放大倍率誤差
      獲得的測量值，按式(3)計算出左右光學(xué)系統(tǒng)的放大倍率差:
 
3 結(jié)束語
      PFMEA是一種動態(tài)的、持續(xù)改進的方法。在制訂整改措施后，團隊?wèi)?yīng)在實施后對相關(guān)過程重新分析。以后，當(dāng)出現(xiàn)產(chǎn)品變化、過程參數(shù)改變、設(shè)備更新等情況時，應(yīng)及時針對變化情況隨時重新進行PFMEA。PFMEA不是針對某幾個產(chǎn)品應(yīng)用才有作用，而應(yīng)是將PFMEA方法帶入到日常工作習(xí)慣中，當(dāng)工藝改進時更應(yīng)將PFMEA的理念代入，這樣才能最大程度發(fā)揮PFMEA的效用。PFMEA是站在前人經(jīng)驗總結(jié)的基礎(chǔ)上，不斷對生產(chǎn)工藝改進的過程，也是一個動態(tài)維護與穩(wěn)步提升的過程。充分利用好PFMEA的優(yōu)勢，可以達到將本增效的目的，從長遠角度看能夠大大節(jié)約企業(yè)成本，并不斷積累企業(yè)的知識和經(jīng)驗這一寶貴財富。

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